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电子设备 (欧瑞康系统)

Product and technology of Oerlikon Systems provide coating systems to Semiconductor, Data Storage and Advanced Nano-technology. Our sputtering systems are used for IC manufacturing, Optic Disc manufacturing, and also advanced Nano, like MEMS, power saving, Automotive industry. The main products of Oerlikon Systems are Semiconductor thin film sputtering which include Clusterline for single wafer processing and LLS EVO II for batch wafers processing. These systems can be used for metal, dielectric sputtering coating for IC process. Also the Data Storage systems are Swivel, Cubestar and Sprinter which are used for Optic Disc surface film coating like Ag and Au coating. For advanced Nano, the key tool is Solaris, which is mainly used to coat thin film for Thermo-electrical generator and Thin film battery, Touch panel, fuel cells and so on.

欧瑞康系统

欧瑞康系统事业部的产品和技术组合供应用于半导体、数据存储以及尖端纳米技术的镀膜系统。我们供应的溅镀系统用于集成电路与光盘的生产以及尖端纳米技术,如MEMS、节能和汽车行业。

欧瑞康系统的主要产品为半导体薄膜溅射,其中包括用于单晶圆加工的Clusterline以及用于批量晶圆加工的LLS EVO II。这些系统可用于集成电路加工的金属、电介质溅射镀膜。数据存储系统还包括Swivel、Cubestar以及Sprinter,这些系统用于光盘表面薄膜镀膜(如镀金和镀银)。Solaris是尖端纳米技术的重要工具,其主要用于热量发电机、薄膜电池、触控板、燃料电池等的薄膜镀膜。

  • 半导体系统:

集群工具平台:CL200, CL300;
成批处理系统:LLS EVO II

  • 光盘系统:

单槽系统:Swivel 2003;
双槽系统:CubeStar;
多槽系统:Sprinter

  • 尖端纳米技术:

Solaris系统

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瑞士肖布林机床公司Schaublin Machines SA瑞士肖布林机床公司(Schaublin Machines SA)于1915年始创于瑞士Bevilard,主要制造精密车床、铣床和加工中心。 1973年,肖布林成功制造出欧洲第一台数控车床; 1983年,肖布林成功制造出全球第一台带垂直/水平机头的铣床; 2001年,公司研发生产新的立式加工中心,购买15,000平米土地修建新的工厂; 2002年,成立德国分公司,此后每年都有数种新机型推出; 2012年,推出全温控的精密车削中心136/137-CNC,它代表了瑞士肖布林精密车床制造水平。现在大约有25万台肖布林机器运行在全球各地。
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