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350FG为穆尔纳米技术公司(Moore Nanotechnology Systems)生产的超精密3、4或5轴CNC超精密自由曲面机床,可用于轴对称非球面和螺旋表面车削加工,并可使用慢刀伺服技术(旋转式)进行自由曲面加工,使用栅式飞刀技术进行自由曲面、衍射面以及光学棱体结构的加工。

20121203_350FG

产品简介

350FG为穆尔纳米技术公司(Moore Nanotechnology Systems)生产的超精密3、4或5轴CNC超精密自由曲面机床,可用于轴对称非球面和螺旋表面车削加工,并可使用慢刀伺服技术(旋转式)进行自由曲面加工,使用栅式飞刀技术进行自由曲面、衍射面以及光学棱体结构的加工。

机床特性

  • PC 兼容CNC运动控制器以及Windows操作系统,编程分辨率0.01纳米 (0.0004u”)

  • 绝热型线性刻度反馈系统,分辨率34皮米 (0.034nm)

  • 可对自由曲面、衍射面和光学棱镜结构进行栅式飞刀或磨削加工

  • 加工离轴和环状元件时可将加工能力扩展至直径20’’ (500mm)

  • 箱式油静压轴承滑轨,Z轴行程(300mm),X轴行程(350mm),Y轴垂直行程(150mm),以及安装于垂直轴用于优化伺服性能的空气轴承自适应平衡器

  • Y轴双线性电机

  • 独有的10,000 rpm转速“重型”PI空气轴承主轴 (配有液体冷却系统),嵌入Y轴托架以增强外圈刚性,减少阿贝误差,并保持对称

  • 选配项包括:静压旋转工作台B轴,主轴内置C轴任意定位控制,微磨削以及微铣磨附件,快刀伺服系统,装调用光学工具,喷雾式制冷系统,真空卡盘,高度微调刀座,NanoCAM 2D非球面元件编程软件以及机床在线测量和误差补偿系统(WECS),温控系统

技术参数

主机

描述

主轴加工能力

直径500mm X 长300mm

基本架构

整体式复合大理石-整合有冷却槽

隔振装置

优化的三点被动式空气隔振系统,可选配自水平减振空气隔振系统

控制系统

Delta Tau系统

主轴

标准指标

类型

独家专有PI带有中心推力平板的径向沟槽补偿空气轴承

液体冷却 (选项)

封闭的环绕式致冷系统

转速范围

50 至10,000 rpm, 双向转动

承载能力(径向)

70Kg,100 psi. / 85Kg,145 psi.

轴向刚性

228 N/um,100 psi / 260 N/um,145 psi

径向刚性 (顶部)

98 N/um, 100 psi / 140 N/um,145 psi

驱动系统

Frameless, Brushless DC motor

运动精度

轴向: 小于等于 12.5 纳米
径向: 小于等于 12.5 纳米

线性轴

X

Z

Y (Vertical) – Option 选配(垂直)

类型

全约束式油静压,箱式滑块

全约束式油静压,箱式滑块

全约束式油静压,箱式滑块,并配置空气轴承适应控制器,用于平衡重力和装载变化量

行程

350mm

300mm

150mm

驱动系统

Brushless DC Linear Motor

Brushless DC Linear Motor

Brushless DC Linear Motor

反馈类型

激光全息线性刻度尺(绝热安装)

激光全息线性刻度尺
(绝热安装)

激光全息线性刻度尺
(绝热安装)

反馈速度(最大)

4500mm/min

4500mm/min

1500mm/min

直线度

全程0.3µm

全程0.3µm

全程0.5µm/100mm中心处0.3µm

静压油供给

紧凑式,低流量,低压系统,配备封闭式循环伺服控制以及使气泵脉动最小化的压力积蓄装置

紧凑式,低流量,低压系统,配备封闭式循环伺服控制以及使气泵脉动最小化的压力积蓄装置

紧凑式,低流量,低压系统,配备封闭式循环伺服控制以及使气泵脉动最小化的压力积蓄装置

选配旋转轴

B

C

类型

空气轴承沟槽补偿(全约束)

空气轴承沟槽补偿(液体冷却)

行程

360° (双向)

360° (双向)

驱动系统

Brushless DC motor

Brushless DC motor

轴向刚性

875 N/µm

详见上述主轴指标

径向刚性(顶部)

260 N/µm

详见上述主轴指标

定位精度

± 1.0 弧秒

± 1.0 弧秒/ 静态

反馈分辨率

0.02 弧秒

0.07 弧秒

最大速度(定位模式)

50 rpm

3,000 rpm

运动精度

轴向: ≤ 0.1µm 径向: ≤ 0.1µm

轴向: ≤ 12.5纳米 径向: ≤ 12.5纳米

尺寸和重量(包括机床外壳,但不包括计算机以及控制器机柜等外围设备)

尺寸

1.72m 宽 x 1.73m 长 x 1.84m 高

1.72m 宽 x 1.73m 长 x 1.84m 高

重量

3,180 Kg

3,180 Kg

注: 上述指标因产品和技术的持续发展而发生改变时,恕不能及时另行通知。

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穆尔集团纳米技术公司Moore Nanotechnology Systems, LLC穆尔工具集团下属的纳米技术公司(Moore Nanotechnology Systems, LLC)成立于1997年。公司致力于研究和生产超精密机床系统,包括单点金刚石车床和微磨削/铣削机床,主要应用于民用光学、国防、医疗、眼科、电子以及微纳米工程等领域。可加工材料包括非铁质材料、陶瓷、光学玻璃、高分子材料以及晶体,可加工轴对称及非轴对称自由曲面面形,并拥有先进的快慢刀技术和栅式加工技术。
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