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穆尔集团纳米技术公司 (Moore Nanotechnology Systems)的350UPM机床为高效超精密微磨削/微铣削机床,该机床配置了转速60000、液体冷却的垂直空气轴承主轴。350UPM适用于非球面镜头阵列和微结构沟槽元件的金刚石微铣削,可以取得传统机床无法达到的光学表面精度和低误差。可加工零件的尺寸为:宽350mm X 长350mm X 高150mm。

20121203_Nanotech_350UPM

产品简介

穆尔集团纳米技术公司 (Moore Nanotechnology Systems)的350UPM机床为高效超精密微磨削/微铣削机床,该机床配置了转速60000、液体冷却的垂直空气轴承主轴。350UPM适用于非球面镜头阵列和微结构沟槽元件的金刚石微铣削,可以取得传统机床无法达到的光学表面精度和低误差。可加工零件的尺寸为:宽350mm X 长350mm X 高150mm。

机床特性

  • PC 兼容CNC运动控制器以及Windows操作系统,编程分辨率0.01纳米 (0.0004u”)

  • 绝热型线性刻度反馈系统,分辨率34皮米 (0.034nm)

  • 碳纤维加固型整体式复合大理石基座,热稳定性、刚性以及减震性能十分出色

  • 箱式油静压轴承滑轨,提供光滑、高刚性和很好的减震能力的线性运动性能

  • 高速循环周期的线性电机控制器,利于提高表面质量,并使维护最小化

  • 空气轴承磨削主轴转速200-60000rpm(配有液体致冷)

  • X轴行程:350mm,Y轴行程:350mm,Z轴行程(垂直):150mm

  • 极具策略性的嵌入式热耦实时原位热能监控设计

技术参数

主机

描述

系统配置

超精密3或4轴CNC机床,用于多种几何形状的微磨削

加工能力

宽350mm x 长350mm x 高150mm

基本架构

整体式复合大理石,以及碳纤维加固

隔振装置

自水平空气隔振系统

控制系统

Delta Tau系统

主轴

描述

类型

专业仪器ISO标准的2.25空气轴承

转速范围

200至60,000 rpm

轴向刚性

65 N/um,(370,000lbs./in.)

径向刚性 (顶部)

20 N/um,(114,000lbs./in.)

驱动系统

Frameless, Brushless DC motor

运动精度

轴向: 小于等于 50 纳米
径向: 小于等于 50 纳米

线性轴

X

Z

Y – 选配(垂直)

类型

全约束式油静压,箱式滑块

全约束式油静压,箱式滑块

全约束式油静压,箱式滑块,并配置空气轴承适应控制器,用于平衡重力和装载变化量

行程

350毫米

350毫米

150毫米

驱动系统

直线电机

直线电机

直线电机

反馈类型

激光全息线性光栅尺

激光全息线性光栅尺

激光全息线性光栅尺

反馈速度 (最大)

4500mm/min

4500mm/min

4500mm/min

直线度

全程,水平0.2µm,垂直0.75um

全程,水平0.2µm,垂直0.75um

全程,水平0.2µm,垂直0.75um

静压油供给

紧凑式,低流量,低压系统,配备封闭式循环伺服控制以及使气泵脉动最小化的压力积蓄装置

紧凑式,低流量,低压系统,配备封闭式循环伺服控制以及使气泵脉动最小化的压力积蓄装置

紧凑式,低流量,低压系统,配备封闭式循环伺服控制以及使气泵脉动最小化的压力积蓄装置

控温特点

描述

三循环致冷系统

对静压油滑块,磨削主轴供气装置以及主轴液体致冷装置提供实时温度控制

陶瓷轴承安装臂

高刚性低发热的轻量化设计

Thermister 温度监控系统

嵌入式的温度实时监控系统,控温分辨率1/1000th degree F

NanoTemp 软件

独有的发热追踪软件,追踪了解机床的发热情况

机床外壳

改良的双开滑动门式设计,有利于温度控制的稳定性

选配旋转轴

旋转轴C

类型

空气轴承沟槽补偿(全约束)

行程

360° (双向)

驱动系统

无刷直流电机

轴向刚性

875 N/µm

径向刚性 (顶部)

260 N/µm

定位精度

≤ 1.0 弧秒

反馈分辨率

0.02 弧秒

运动精度

轴向: ≤ 0.1µm 径向: ≤ 0.1µm

尺寸和重量

(包括机床外壳,但不包括计算机以及控制器机柜等外围设备)

尺寸

1.91m 宽 x 1.90m 长 x 2.13m 高

重量

约3,180 Kg

注: 上述指标因产品和技术的持续发展而发生改变时,恕不能及时另行通知。

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穆尔集团纳米技术公司Moore Nanotechnology Systems, LLC穆尔工具集团下属的纳米技术公司(Moore Nanotechnology Systems, LLC)成立于1997年。公司致力于研究和生产超精密机床系统,包括单点金刚石车床和微磨削/铣削机床,主要应用于民用光学、国防、医疗、眼科、电子以及微纳米工程等领域。可加工材料包括非铁质材料、陶瓷、光学玻璃、高分子材料以及晶体,可加工轴对称及非轴对称自由曲面面形,并拥有先进的快慢刀技术和栅式加工技术。
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