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700UPF是穆尔集团纳米技术公司 (Moore Nanotechnology Systems)生产的2轴超精密CNC飞刀机床,主要用于平面光学加工。可选空气轴承A轴使700UPF能够轻松升级为至3轴机床。700UPF配置高功效水平滑动模块,特别适合大口径零件的大批量加工。700UPF飞刀机床沿袭了业内领先的450UPL和350FG金刚石车床的诸多设计和部件,例如箱式油高刚性静压轴承滑轨,X轴线性电机驱动,预置滚珠丝杠的自适应平衡Z轴,自平衡空气减震器以及穆尔独有的ISO 5.5 转速10000压线补偿双向空气轴承主轴。

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产品简介

700UPF是穆尔集团纳米技术公司 (Moore Nanotechnology Systems)生产的2轴超精密CNC飞刀机床,主要用于平面光学加工。可选空气轴承A轴使700UPF能够轻松升级为至3轴机床。700UPF配置高功效水平滑动模块,特别适合大口径零件的大批量加工。700UPF飞刀机床沿袭了业内领先的450UPL和350FG金刚石车床的诸多设计和部件,例如箱式油高刚性静压轴承滑轨,X轴线性电机驱动,预置滚珠丝杠的自适应平衡Z轴,自平衡空气减震器以及穆尔独有的ISO 5.5 转速10000压线补偿双向空气轴承主轴。

机床特性

  • PC 兼容CNC运动控制器以及Windows操作系统,编程分辨率0.01纳米 (0.0004u”)

  • 箱式油静压轴承滑轨,Z轴行程(300mm),X轴行程(710mm)

  • 安装于垂直轴(Z轴)用于优化伺服性能的空气轴承自适应平衡器

  • 飞刀工具卡具最大摆动直径350mm

  • 安装于Z轴(垂直轴)滑动托架上的10000rpm转速“重型”空气轴承主轴(可选配液体冷却系统)

  • 自平衡空气隔振

  • 选配项包括:各种飞刀工具卡具,喷雾式致冷系统,主轴致冷器,可通过CNC控制和倾斜调整的旋转B轴,可CNC控制空气轴A轴进行多角运行,温控系统

技术参数

主机

描述

主轴加工能力

300mm x 610mm (基于飞刀工具卡具的最大摆动直径为350mm时)

基本架构

天然黑色大理石 – 整合有滑块通道以及不锈钢保护板

隔振装置

优化的自水平空气隔振系统

控制系统

Delta Tau系统

编程分辨率

线性分辨率1纳米

性能展示
(使用激光干涉仪或者白光干涉仪测量)

面型精度(P-V): 小于等于 0.125µm / 75mm口径
表面粗糙度(Ra): 小于等于 3.0 纳米,电子镍

主轴

标准指标

类型

全约束式专业仪器轴,配空气轴承沟槽补偿

液体致冷 (选项)

封闭的环绕式冷却系统

转速范围

50 至10,000 rpm, 双向转动,最大rpm取决于飞刀轮直径

轴向刚性

260 N/um (1,500,000 lbs./in.) , @145 psi

径向刚性 (顶部)

140 N/um (800,000 lbs./in.) , @145 psi

驱动系统

Frameless, Brushless DC motor

运动精度

轴向: 小于等于 25 纳米
径向: 小于等于 25 纳米

线性轴

X

Z (垂直轴)

类型

全约束式油静压,箱式滑块

全约束式油静压,箱式滑块

行程

710mm

300mm

驱动系统

Brushless DC Linear Motor

Brushless DC Linear Motor 配预载滚珠丝杠和平衡器

反馈类型

线性光栅尺

线性光栅尺

反馈分辨率

1纳米

1 纳米

反馈速度 (最大)

3000mm/min

1500mm/min

直线度

小于等于 0.1um / 100mm (垂直方向)

小于等于 0.3um 全程 (水平方向)

静压油供给

紧凑式,低流量,低压系统,配备封闭式循环伺服控制以及使气泵脉动最小化的压力积蓄装置

紧凑式,低流量,低压系统,配备封闭式循环伺服控制以及使气泵脉动最小化的压力积蓄装置

尺寸和重量

(包括机床外壳,但不包括计算机以及控制器机柜等外围设备)

尺寸

1.75m 宽 x 1.75m 长 x 1.60m 高

重量

约2650 Kg

注: 上述指标因产品和技术的持续发展而发生改变时,恕不能及时另行通知。

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穆尔集团纳米技术公司Moore Nanotechnology Systems, LLC穆尔工具集团下属的纳米技术公司(Moore Nanotechnology Systems, LLC)成立于1997年。公司致力于研究和生产超精密机床系统,包括单点金刚石车床和微磨削/铣削机床,主要应用于民用光学、国防、医疗、眼科、电子以及微纳米工程等领域。可加工材料包括非铁质材料、陶瓷、光学玻璃、高分子材料以及晶体,可加工轴对称及非轴对称自由曲面面形,并拥有先进的快慢刀技术和栅式加工技术。
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