Panier de documents

Pages enregistrées

Documents enregistrés

Veuillez noter: cette information est enregistrée dans un cookie. Dans le cas où votre navigateur supprime les cookies après une session, les informations seront perdues.

Besoin d’aide?

Merci de laisser un message

×
Merci pour votre message.
Kanto Chemical - Post-Ashing residue removers and Resist strippers

DeerClean-LK series : Suppresseur de résidus post-ashing pour process Cu/low-k.

La série DeerClean-LK est un suppresseur de polymère hautement recommandé pour un process par équipment "single wafer". Capable d'enlever les résidus post-ashing dans un court laps de temps à basse température après le ashing par plasma sans attaque chimique sur les films Cu et low-k. Compatible avec une production par lot (batch) et équipments "single wafer".

DeerClean-SA series: Suppresseur de résidus post-ashing pour process Aluminium (Al).

Capable d'éliminer les résidues post-ashing et post-gravure sèche à basse tempérautre dans un court laps de temps. Peu de dommages chimiques sur une large variété de métaux, comprenant l'Aluminium et les matériaux diélectriques.

JELK series: Suppresseur de résidus post-ashing pour process Aluminium (Al).

Excellentes performances d'élimination des substances organiques et des résidus métalliques.

Capable d'inhiber les dommages aux métaux et alliages tels que aluminium-cuivre (Al-Cu), cuivre (Cu), tungsten (W), titane (Ti), nitrure de titane (TiN), nickel (Ni), etc.

Capable de retirer les résidus de photoresists implantés par ion et de résine de films secs.

  • Chimique
  • Semiconducteurs, solaire et électronique
KANTO CHEMICAL CO. INC.La division chimie électronique de Kanto Chemical offre une gamme complète de produits chimiques pour les applications semi-conducteurs. Parmi ce portefeuille, Kanto Chemical propose des solutions pour le nettoyage Post-CMP, des éliminateurs de résidus Post-Ashing et des solutions Gold plating.
[Kanto Chemical, Post Ashing residue remover, Resist strippers, DeerClean-LK series, DeerClean-SA series, JELK series]