- Menu 关闭
欧瑞康系统事业部的产品和技术组合供应用于半导体、数据存储以及尖端纳米技术的镀膜系统。我们供应的溅镀系统用于集成电路与光盘的生产以及尖端纳米技术，如MEMS、节能和汽车行业。
欧瑞康系统的主要产品为半导体薄膜溅射，其中包括用于单晶圆加工的Clusterline以及用于批量晶圆加工的LLS EVO II。这些系统可用于集成电路加工的金属、电介质溅射镀膜。数据存储系统还包括Swivel、Cubestar以及Sprinter，这些系统用于光盘表面薄膜镀膜（如镀金和镀银）。Solaris是尖端纳米技术的重要工具，其主要用于热量发电机、薄膜电池、触控板、燃料电池等的薄膜镀膜。
半导体系统：
集群工具平台：CL200, CL300;
成批处理系统：LLS EVO II
光盘系统：
单槽系统：Swivel 2003;
双槽系统：CubeStar;
多槽系统：Sprinter
尖端纳米技术：
Solaris系统
瑞士肖布林机床公司(Schaublin Machines SA)于1915年始创于瑞士Bevilard，主要制造精密车床、铣床和加工中心。
1973年，肖布林成功制造出欧洲第一台数控车床；
1983年，肖布林成功制造出全球第一台带垂直/水平机头的铣床；
2001年，公司研发生产新的立式加工中心，购买15,000平米土地修建新的工厂；
2002年，成立德国分公司，此后每年都有数种新机型推出；
2012年，推出全温控的精密车削中心136/137-CNC，它代表了瑞士肖布林精密车床制造水平。现在大约有25万台肖布林机器运行在全球各地。
