欧瑞康系统事业部的产品和技术组合供应用于半导体、数据存储以及尖端纳米技术的镀膜系统。我们供应的溅镀系统用于集成电路与光盘的生产以及尖端纳米技术,如MEMS、节能和汽车行业。
欧瑞康系统的主要产品为半导体薄膜溅射,其中包括用于单晶圆加工的Clusterline以及用于批量晶圆加工的LLS EVO II。这些系统可用于集成电路加工的金属、电介质溅射镀膜。数据存储系统还包括Swivel、Cubestar以及Sprinter,这些系统用于光盘表面薄膜镀膜(如镀金和镀银)。Solaris是尖端纳米技术的重要工具,其主要用于热量发电机、薄膜电池、触控板、燃料电池等的薄膜镀膜。
半导体系统:
集群工具平台:CL200, CL300;
成批处理系统:LLS EVO II
光盘系统:
单槽系统:Swivel 2003;
双槽系统:CubeStar;
多槽系统:Sprinter
尖端纳米技术:
Solaris系统