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マイヤーバーガー 「HELiA PECVDプラズマ化学気相蒸着装置 PVD物理気相蒸着装置 」

スイスの太陽光発電機器メーカーMeyer Burger社グループ傘下のドイツRoth & Rau社は、結晶/薄膜太陽電池それぞれに対して、20%を超える高変換効率が可能なヘテロジャンクション技術を用いた太陽電池セル製造装置をはじめ、主力のPECVD(プラズマ化学気相蒸着)装置、PVD(物理気相蒸着)装置などいろいろな製造過程の装置を提供しております。

  • 半導体、太陽光・エレクトロニクス

マイヤー・バーガー・ジャーマニー社 (Meyer Burger Germany)

サプライヤー情報: ロス&ラウ社 (Roth & Rau)(ドイツ)は2014年よりスイスの太陽電池製造装置メーカーであるマイヤー・バーガー社 (Meyer Burger) のグループ傘下に入り、現在マイヤー・バーガー・ジャーマニー社 (Meyer Burger Germany) として、世界中の結晶・薄膜太陽電池を製造するお客様に対し主にAlOx, SiN等を成膜するPERC用PECVDおよびPVD装置を提供しております。 また、HJT (ヘテロジャンクション) 技術による高効率な太陽電池セルを製造するお客様に対しては、高スループット・高い歩留り・CoO(Cost of Owership)に優れたPECVDおよびPVD装置を提供しております。
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