Thông lượng và độ tin cậy hàng đầu trong ngành
Được xây dựng dựa trên công nghệ plasma đã được cấp bằng sáng chế của Nordson Electronics Solutions, FlexTRAK®-SHS là hệ thống plasma hoàn toàn tự động mới nhất kết hợp buồng F3-S dung lượng cao, để mang lại tính đồng nhất cao và tăng năng suất. Kiến trúc buồng vẫn giống như nền tảng FlexTRAK nhỏ hơn, cung cấp sự chuyển đổi liền mạch giữa các buồng khi sản xuất đòi hỏi nhiều công suất hơn.
W x D x H – Footprint | 2314 x 1935 x 1787 mm (2293 H mm with light tower) 91.1 x 76.2 x 70.5 in (90.3 H in with light tower) |
---|---|
Net Weight | 1305 kg (2,871 lbs) |
Chamber Volume | F3-S chamber: 9.6 liters (585 in³) F3 chamber: 5.5 liters (338 in³) |
Powered Electrode Dimensions W x D | F3-S chamber: 305 x 610 mm (12 x 24 in) F3 chamber: 305 x 305 mm (12 x 12 in) |
RF Power: Standard Wattage | F3-S chamber: 1000 W F3 chamber: 600 W |
RF Power: Frequency | 13.56 MHz |
Gas Control: Maximum Number of MFCs | 4 |