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SEMICON JAPAN 2019 December 11, 2019-December 13, 2019; 東京ビックサイト

DKSH_SPE-SEMICON_Japan_2019

DKSHジャパンは SEMICON Japan 2019 に出展いたします

SEMICON Japan 2019 にて下記取り扱い機種のパネル展示を行います。

> DKSHジャパン 出展製品

UnitySC社製 ウエハー表面・裏面欠陥検査装置

  • ウエハーの裏面のみ、または表面・裏面を高速度・高精度に同時検査
  • 裏面の欠陥位置情報を、表面の欠陥情報に加えてアプトプット
  • オプションでエッジ検査機能も付加できます

 

UnitySC社製ウエハー非接触ナノ形状計測装置 (Model NST)

  • 白色干渉技術による非接触計測装置
  • 非接触 表面粗さ計測、高アスペクト比のトレンチ計測、等
  • 高分解能、ハイスループットによる品質管理向上へ貢以上

 

LAUDA NOAH社製ドライエッチングプロセス向け精密チラー

  • Thermo Electric による精密温度管理 (0.1℃単位) 
  • 省スペース (W12 x D23 x H50 cm)、軽量化による保守メンテの向 

 

弊社ブースへのお越しを心よりお待ちしております。

> SEMICON Japan 2019 公式サイト

 

展示会・イベント情報

会場 東京ビックサイト
会期 2019年12月11日(水)- 13日(金)
10:00 - 17:00
ブースNo. 西4ホール No. 5568