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InnoLas Solutions - Machine laser à axes séparés - ULTAGO

Machine laser à axes séparés pour le traitement de micro matériaux

ULTAGO est un puissant poste de traitement laser conçu pour les applications de haute précision pour les industries photovoltaïque, mécanique de précision et électronique. Il atteint un rendement maximal pour les cellules solaires ou les substrats en céramique et est utilisé dans les environnements de production à volume élevé. Différentes des machines à table linéaires, le chargement, le déchargement, l'alignement, ainsi que le traitement au laser des machines à table tournante sont effectués en parallèle afin d'atteindre une productivité optimale.

Spécifications techniques

Applications Ouverture de contact laser pour PERC, émetteur sélectif dopé au laser , LCO avant, clivage direct au laser, diverses applications du traitement électronique
Précision <+/- 35 μm (1 sigma)
<+/- 10 μm éventuellement
<+/- 2 μm répétabilité
Substrat Dimension jusqu'à 161 x 161 mm
Épaisseur> 100 μm
silicium cristallin carré ou pseudo-carré,
céramique, PCB
Sources laser disponibles Longueur d'onde: 1064, 1030, 532, 515, 355 nm
Impulsion: μs, ns, ps, fs
Throughput 4000 plaquettes par heure

Principales caractéristiques

  • Configuration simple ou double scanner
  • Calibrage automatique de la caméra
  • Routines automatisées pour les analyses de référence
  • Contrôle de processus automatisé
  • Stystème autonomes et intégrés à la chaîne de production
  • Méthodes d'alignement à 3, 5 ou même 8 points disponibles (bords de plaquette ou valeurs de référence)

InnoLas Solutions ILS TT for PERC

  • Semiconducteurs, solaire et électronique
InnoLas Solutions GmbHInnoLas Solutions a été fondée en octobre 2013 à la suite de la scission d'InnoLas PV et du commerce électronique. Elle s'appuie sur plus de 20 ans d'expérience dans la technologie laser. Une équipe de spécialistes du laser développe des applications spécifiques clients dans notre laboratoire. De plus, nous adaptons ces processus laser aux défis des exigences de production actuelles.
[Innolas, traitement laser, technologie laser, ultago]