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ドライエッチングプロセス向け精密 POUチラーです。ペルチェ方式による精密温度制御 (-20℃ to 90℃) が可能です。チャンバーから戻るプロセス液の温度をモニタリングし、プロセス中のチャック温度を一定に保つようにプロセス液の温度制御および供給を行います。また、省フットプリント、軽量のため、装置近くに配置可能となり保守メンテナンスの軽減につながります。

 

特徴

  • Thermo Electric Chiller(ペルチェ方式)

  • プロセス液温を常にモニタリング&温度調整(ダイナミック方式)

  • 0.1度単位の温度管理精度

  • チャック温度を一定化することによりウエハー間、ロット間のバラつきを低減

  • 省スペース: 外寸 W 116 x D 232 x H 500 mm

  • 軽量:    重さ 15 kg

  • 保守メンテナンス作業を低減(MTBF 5年以上)

  • 各エッチング装置メーカー様での参照あり

  • 全世界で10,000台以上の納入実績

 

アプリケーション

  • 150 - 300 mm ウエハー向けドライエッチングプロセス

 

製品ラインナップ

冷却能力
1200W @ 20C
設定温度範囲
-20 ~ 90℃
装置寸法
W116 x D 232 x H470 mm
重量
15 kg
冷却能力
2400W @ 20C
設定温度範囲
-20 ~ 90℃
装置寸法
W116 x D 300 x H560 mm
重量
25 kg
冷却能力
4400W @ 20C
設定温度範囲
-20 ~ 90℃
装置寸法
W194 x D 300 x H560 mm
重量
38 kg
  • 半導体、太陽光・エレクトロニクス
ラウダノア (LAUDA-Noah)サプライヤー情報: ラウダノア (LAUDA-Noah)
LAUDA-Noah社は1985年にアメリカ・ワシントン州に設立(旧 Noah Precision社)。設立時より一貫して半導体エッチングプロセス向け精密温度管理技術を磨いてきており、世界中の半導体工場で10,000台以上の実績があります。
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