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ユニティSC 「ウエハー非接触ナノ形状計測装置  NST」

白色干渉技術による非接触表面粗さ計測、高アスペクト比のトレンチ計測等が可能です。高分解能、ハイスループットで品質管理工場へ貢献いたします。

 

アプリケーション 

  • ウエハー 非接触表面粗さ計測

  • 高アスペクト比のTSV、トレンチ計測

  • 微細形状の計測

  • バンプコプラナリティー計測

  • エッジロールオフ

  • IR Overlay

 

  • VSIモード/PSIモード
  • 高さ分解能 0.1nm
  • FoV 2,000x2,500um to 250x200um
  • 光学顕微鏡 + NIR顕微鏡 標準付帯
  • 200 & 300 mm ウエハーサイズ対応
  • 半導体、太陽光・エレクトロニクス
ユニティSC (Unity SC)サプライヤー情報: ユニティSC (Unity Semiconductor SAS)
FOGALE nanotech (仏・1983年設立) の半導体検査・計測部門が2016年に独立したメーカーです。フランス・グルノーブルに開発・製造拠点を持ち、欧米アジア各国で販売・サービスを展開しており、各大手ファウンダリー、OSAT、パワーデバイスメーカでの採用が着実に伸びております。日本の半導体製造業界の皆さまにもお役に立てていただけるものと確信しております。
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