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ユニティSC 「ウエハー表面・裏面欠陥検査装置 4Seeシリーズ」

ウエハーの裏面のみ、または表面・裏面を高速度・高精度に同時検査できる装置です。裏面の欠陥位置情報を、表面の欠陥情報に加えてアプトプットします。オプションでエッジ検査機能も付加できます。

 

アプリケーション 

  • 裏面研磨薄ウエハーの表面・裏面同時検査
  • EPI・SOIウエハーのスリップライン検査
  • OQC出荷前検査
  • パーティクル検査
  • ガラス、サファイア、SiC 透明ウエハーの表面裏面同時検査

 

  • 半導体、太陽光・エレクトロニクス
ユニティSC (Unity SC)サプライヤー情報: ユニティSC (Unity Semiconductor SAS)
FOGALE nanotech (仏・1983年設立) の半導体検査・計測部門が2016年に独立したメーカーです。フランス・グルノーブルに開発・製造拠点を持ち、欧米アジア各国で販売・サービスを展開しており、各大手ファウンダリー、OSAT、パワーデバイスメーカでの採用が着実に伸びております。日本の半導体製造業界の皆さまにもお役に立てていただけるものと確信しております。
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