Cần Hỗ trợ?

Please leave a message

×

Invalid Captcha
Cảm ơn tin nhắn của quý khách. Đại diện của chúng tôi sẽ liên lạc với quý khách trong thời gian ngắn.
PANalytical- Hệ thống Nhiễu xạ tia X-X'Pert³  (MRD) trong nghiên cứu vật liệu

Thế hệ mới của hệ thống nghiên cứu vật liệu Nhiễu xạ đa năng:

Lịch sử lâu dài và thành công của Hệ Nhiễu xạ tia X Nghiên cứu Vật liệu (MRD) của PANalytical tiếp tục với thế hệ mới - X'Pert³ MRD và X'Pert³ MRD XL. Hiệu suất được cải thiện và độ tin cậy của nền tảng mới đã thêm nhiều khả năng phân tích và sức mạnh cho các nghiên cứu Nhiễu xạ tia X trong

  • - Khoa học vật liệu tiên tiến
  • - Khoa học và công nghiệp màng mỏng
  • - Đặc tính đo lường trong quá trình phát triển quy trình bán dẫn
  • - Cả hai hệ thống xử lý cùng một phạm vi rộng các ứng dụng với mapping wafer đầy đủ lên đến 100 mm (X'Pert³ MRD) hoặc 200 mm (X'Pert³ MRD XL).

Thông số kỹ thuật:

Bộ đo góc: kích thước bước đo Tối thiểu 0.0001˚
Bộ đo góc: bán kính Bán kính: X'Pert³ MRD 320 mm (ngang); Bán kính: X'Pert³ MRD XL 420 mm (ngang)
Open Eulerian Cradle- Chi Rotation +/- 92˚
Open Eulerian Cradle- Phi Rotation 2 x 360˚
Open Eulerian Cradle- x,y translation 100 x 100 mm (X’Pert³ MRD); 200 x 200 mm (X’Pert³ MRD XL)
Open Eulerian Cradle- z translation Tối thiểu 1 µm
C-to-C Wafer Loaders- Size 2” to 150 mm; 100 to 300 mm

Các model cung cấp

PANalytical X’Pert³ MRD
Đặc tính kỹ thuật
Bộ đo góc – bước đo
Bước đo tối thiểu 0.0001˚
Bộ đo góc – Bán kính
Bán kính: X’Pert³ MRD 320 mm (ngang); Bán kính: X’Pert³ MRD XL 420 mm (ngang)
Open Eulerian Cradle- Chi Rotation
+/- 92˚
Open Eulerian Cradle- Phi Rotation
2 x 360˚
Open Eulerian Cradle- x,y translation
100 x 100 mm (X’Pert³ MRD); 200 x 200 mm (X’Pert³ MRD XL)
Open Eulerian Cradle- z translation
minimum step size 1 µm
C-to-C Wafer Loaders- Size
2” to 150 mm; 100 to 300 mm

Phiên bản tiêu chuẩn nghiên cứu và phát triển để sử dụng với các mẫu màng mỏng, tấm mỏng (bản đồ hoàn chỉnh lên đến 100 mm) và vật liệu rắn. Khả năng phân tích độ phân giải cao được cải thiện nhờ tính chính xác nổi bật của máy đo góc độ cao mới có độ phân giải cao sử dụng bộ mã hóa Heidenhain.

PANalytical X
Đặc tính kỹ thuật
Bộ đo góc – bước đo
Bước đo nhỏ nhất 0.0001˚
Bộ đo góc – Bán kính
Bán kính: X’Pert³ MRD 320 mm (ngang); Radius: X’Pert³ MRD XL 420 mm (horizontal)
Open Eulerian Cradle- Chi Rotation
+/- 92˚
Open Eulerian Cradle- Phi Rotation
2 x 360˚
Open Eulerian Cradle- x,y translation
100 x 100 mm (X’Pert³ MRD); 200 x 200 mm (X’Pert³ MRD XL)
Open Eulerian Cradle- z translation
minimum step size 1 µm
C-to-C Wafer Loaders- Size
2” to 150 mm; 100 to 300 mm

X'Pert³ MRR XL đáp ứng tất cả các yêu cầu phân tích XRD có độ phân giải cao của chất bán dẫn, màng mỏng và các ngành công nghiệp vật liệu tiên tiến. Hoàn thiện bản đồ wafer lên đến 200 mm. Phiên bản X'Pert3 đi kèm với thời gian dài nhất của các thành phần chùm tia (CRISP) và thời gian hoạt động tối đa với cửa chớp khí nén và chùm tia giảm. Bằng cách tạo điều kiện thuận lợi cho việc phân tích đường kính có đường kính lên tới 300 mm, với một bộ chọn máy xay xát tinh vi, X'Pert³ MRD XL trở thành công cụ tiên tiến để kiểm soát chất lượng các cấu trúc lớp mỏng công nghiệp.

PANalytical X
Đặc tính kỹ thuật
Kích thước – Thân máy chính
1400 (w) x 1162 (d) x 1947 (h) mm
Trọng lượng – Thân máy chính
1150 kg
Enclosure- Khả năng tiếp cận
Cửa lớn, cho phép truy cập tới bốn người cùng một lúc
Enclosure- Độ an toàn
Đáp ứng mọi quy định trên toàn thế giới về an toàn điện, cơ và tia X với tất cả các loại anode
Enclosure- Cài đặt
Hệ thống trên bánh xe để dễ dàng lắp đặt và di chuyển
Bộ đo góc – cấu hình
Bộ đo góc thẳng đứng, available in theta-theta or alpha-1 geometry
Bộ đo góc- bán kính và giao diện
Bán kính 240 mm, có sẵn các giao diện để giảm bán kính chùm nhiễu xạ cho các ứng dụng cụ thể
Bộ đo góc- Dải đo
Dải sử dụng tối đa (phụ thuộc vào phụ kiện) -111°< 2θ <168°
Bộ đo góc – dải tuyến tính
2θ tuyến tính bằng hoặc tốt hơn ±0.01°
Goniometer- Accuracy and Precision
Hệ thống mã hóa trực tiếp trực tiếp thế hệ mới (DOPS 2) cho độ chính xác thời gian sống trơn, sử dụng các bộ mã hóa Heidenhain được định hướng chính xác và công nghệ theo dõi đường dẫn
X-Ray Source- X-Ray Tube
Các ống tia X bằng gốm được sản xuất bởi nhà máy chuyên dụng của PANalytical trong điều kiện phòng sạch
X-Ray Source- Generator
Nguồn phát 4 kW hỗ trợ tất cả các ống tia X hiện tại và tương lai
X-Ray Source- Performance
Tất cả các thiết bị của Empyrean được thiết kế cho hoạt động 60 kV, cho phép hoạt động tối ưu cho các nguồn Mo và Ag

Hệ thống MRR mở rộng X'Pert³ (XL) mang lại tính linh hoạt cao với phạm vi của các hệ thống MRD X'Pert³. Một nền tảng gắn kết PreFIX bổ sung cho phép gắn một gương phản xạ tia X và một bộ xử lý đơn sắc độ phân giải cao trong dòng, làm tăng đáng kể cường độ của chùm sáng. Người ta có thể thu được lợi ích từ tính linh hoạt của ứng dụng mà không ảnh hưởng đến chất lượng dữ liệu, nhiễu xạ tia X có độ phân giải cao với cường độ cao, thời gian đo ngắn hơn cho các phép đo như lập bản đồ không gian lẫn nhau và xây dựng lại từ tiêu chuẩn đến cấu hình mở rộng trong vài phút nhờ vào khái niệm PreFIX. Với PreFIX thế hệ thứ 2, việc cấu hình lại dễ dàng và định vị quang học chính xác hơn bao giờ hết.

PANalytical X
Đặc tính kỹ thuật
Kích thước – Thân máy chính
1400 (w) x 1162 (d) x 1947 (h) mm
Trọng lượng – Thân máy chính
1150 kg
Enclosure- Khả năng tiếp cận
Cửa lớn, cho phép truy cập tới bốn người cùng một lúc
Enclosure- Độ an toàn
Đáp ứng mọi quy định trên toàn thế giới về an toàn điện, cơ và tia X với tất cả các loại anode
Enclosure- Cài đặt
Hệ thống trên bánh xe để dễ dàng lắp đặt và di chuyển
Bộ đo góc – cấu hình
Bộ đo góc thẳng đứng, available in theta-theta or alpha-1 geometry
Bộ đo góc- bán kính và giao diện
Bán kính 240 mm, có sẵn các giao diện để giảm bán kính chùm nhiễu xạ cho các ứng dụng cụ thể
Bộ đo góc- Dải đo
Dải sử dụng tối đa (phụ thuộc vào phụ kiện) -111°< 2θ <168°
Bộ đo góc – dải tuyến tính
2θ tuyến tính bằng hoặc tốt hơn ±0.01°
Goniometer- Accuracy and Precision
Hệ thống mã hóa trực tiếp trực tiếp thế hệ mới (DOPS 2) cho độ chính xác thời gian sống trơn, sử dụng các bộ mã hóa Heidenhain được định hướng chính xác và công nghệ theo dõi đường dẫn
X-Ray Source- X-Ray Tube
Các ống tia X bằng gốm được sản xuất bởi nhà máy chuyên dụng của PANalytical trong điều kiện phòng sạch
X-Ray Source- Generator
Nguồn phát 4 kW hỗ trợ tất cả các ống tia X hiện tại và tương lai
X-Ray Source- Performance
Tất cả các thiết bị của Empyrean được thiết kế cho hoạt động 60 kV, cho phép hoạt động tối ưu cho các nguồn Mo và Ag

Với hệ thống X'Pert³ MRD (XL) cho sự nhiễu xạ trên mặt phẳng, có thể đo nhiễu xạ từ các mặt phẳng lattice vuông góc với bề mặt mẫu.
Các cấu trúc quang học tiêu chuẩn và trong mặt phẳng trên một hệ thống và một loạt các thí nghiệm nhiễu xạ trên các màng mỏng đa tinh thể và rất hoàn hảo chỉ là hai trong số rất nhiều lợi ích.

Các tính năng ưu việt:

  • Bản đồ wafer lên đến 200 mm đáp ứng tất cả các yêu cầu phân tích XRD có độ phân giải cao
  • Khả năng phân tích độ phân giải cao được cải thiện nhờ tính chính xác nổi bật của Bộ đo góc cao sử dụng bộ mã hóa Heidenhain.
  • Cung cấp tuổi thọ dài nhất của các thành phần chùm tia tới (CRISP) và thời gian hoạt động tối đa với bộ đóng thủy lực và chùm khuếch đại tia
  • Với nền tảng gắn kết PreFIX thế hệ thứ 2, cấu hình lại dễ dàng trong vài phút và định vị lại hệ quang học chính xác hơn bao giờ hết.
  • Cho phép đo nhiễu xạ từ mặt phẳng lattice vuông góc với bề mặt mẫu.
  • Possible standard and in-plane geometries on one system and a wide range of diffraction experiments on polycrystalline and highly perfect thin films.
  • • Hệ quang học tiêu chuẩn trên mặt phẳng trên một hệ thống và một loạt các thí nghiệm nhiễu xạ trên các màng mỏng đa tinh thể và hoàn hảo.
  • Vũ trụ không gian
  • Nông nghiệp
  • Ô tô
  • Sinh dược và công nghệ sinh học
  • Hóa chất
  • Xây dựng
  • Mỹ phẩm & Chăm sóc Cá nhân
  • Quốc phòng
  • Khuôn mẫu
  • Giáo dục
  • Điện tử
  • Năng lượng
  • Môi trường
  • Thực phẩm & nước giải khát
  • Trang sức
  • Máy móc & Sản xuất
  • Y khoa
  • Khai khoáng & Khoáng sản
  • Dầu khí
  • Quang học
  • Giấy và gỗ
  • Dược phẩm
  • Polyme, Nhựa và Cao su
  • Bột & Thuốc nhuộm / Sơn phủ
  • Đường sắt
  • Bán dẫn, điện mặt trời và điện tử
  • Dịch vụ
  • Dệt may
  • Bán buôn và bán lẻ
Malvern PanalyticalMalvern Panalytical được thành lập bởi sự hợp nhất của các công ty Malvern Instruments và PANalytical vào ngày 1 tháng 1 năm 2017 với hơn 2.000 người trên toàn thế giới. Công nghệ của chúng tôi được các nhà khoa học và kỹ sư sử dụng trong nhiều ngành công nghiệp và tổ chức để giải quyết những thách thức liên quan đến tối đa hóa năng suất, phát triển các sản phẩm có chất lượng tốt hơn và đưa họ đến thị trường nhanh hơn. Nhiệm vụ của chúng tôi là tạo ra các giải pháp và dịch vụ cao cấp, tập trung vào khách hàng để mang lại những tác động kinh tế hữu hình thông qua phân tích hóa học, vật lý và cấu trúc của vật liệu.
[panalytical, X'Pert³ MRD, MRD, Materials Research Diffractometers]